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INFICON HPG400高壓強熱電離皮拉尼真空計

 INFICON高壓強熱電離皮拉尼真空計，HPG400，將高壓強熱電離與皮拉尼真空計綜合在一個小型，輕便與經(jīng)濟的規(guī)管中，測量壓強從2X10^-6毫巴至大氣壓（1.5X10^-6乇至大氣壓）。HPG400提供高度的重復(fù)性和再現(xiàn)性壓強測量，用于精確濺射過程的壓強控制。

優(yōu)越性：

1、  HPG400節(jié)省成本和設(shè)備空間，降低真空測量的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性

2、  高壓強熱電離真空計從1X10^-5至1毫巴為要求高的過程控制提供精確，可靠的壓強測量

3、  用戶可選的熱電離發(fā)射在5X10^-2至1毫巴之間起始工作

4、  皮拉尼聯(lián)鎖保護熱陰極防止它過早燒毀

5、  備有可選的圖形顯示器和Fieldbus接口

6、  高真空皮拉尼自動調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)

7、  符合RoHS

用途：

1、  半導(dǎo)體制造中濺射工藝應(yīng)用，電子學(xué)和傳媒工業(yè)

2、  工業(yè)鍍膜

3、  在低至高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制