INFICON CDG160D/CDG200D SKY電容膜片真空計(jì)

INFICON SKY CDG160D和CDG200D高溫真空計(jì)是高精度總壓強(qiáng)測(cè)量和控制的最佳選擇。為達(dá)到優(yōu)異的半導(dǎo)體和等離子過程要求的性能，將CDG160D和CDG200D真空計(jì)的溫度相應(yīng)地控制于160度和200度。全量程范圍從1乇至1000乇，配有全部常用的法蘭型式和Fieldbus接口，和提供線性的0至10伏與氣體類型無關(guān)的壓強(qiáng)訊號(hào)。INFICON電容真空計(jì)采用超純抗腐蝕的氧化鋁陶瓷膜片。陶瓷傳感器的優(yōu)點(diǎn)是訊號(hào)穩(wěn)定性好，從大氣壓恢復(fù)快，預(yù)熱時(shí)間短和超長(zhǎng)的使用壽命。INFICON CDG是高質(zhì)量，成本效益好的壓強(qiáng)傳感器，用于半導(dǎo)體，等離子和各項(xiàng)要求高的真空應(yīng)用中。

優(yōu)越性：

1、  低CoO（擁有成本），50%快速預(yù)熱，能效高，功耗低

2、  易整合于系統(tǒng)中，寬廣的全量程范圍，法蘭和接口，標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)帶有兩個(gè)設(shè)點(diǎn)

3、  簡(jiǎn)易的一鍵操作或遙控訊號(hào)調(diào)零指令，零點(diǎn)偏離可調(diào)

4、  診斷端口用于快速檢修和維護(hù)

5、  兩年保用期，真空計(jì)使用壽命長(zhǎng)，采用先進(jìn)的加熱概念和傳感器保護(hù)

6、  由于卓越的訊號(hào)穩(wěn)定性和可重復(fù)性，即使在嚴(yán)酷的等離子應(yīng)用條件下仍可長(zhǎng)期使用，無需重新校準(zhǔn)

7、  符合標(biāo)準(zhǔn)：CE,EN,UL,SEMI,RoHS

用途：

1、  刻蝕，PVD,CVD,LPCVD和其它半導(dǎo)體生產(chǎn)過程

2、  化學(xué)和腐蝕性高溫過程

3、  需要真空計(jì)保護(hù)的常用薄膜和真空過程