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INFICON BPG402-S B-A型皮拉尼真空計(jì)(大氣壓至超高真空)

 INFICON B-A型皮拉尼復(fù)合真空計(jì)，BPG402-S，將兩種真空計(jì)集成在一個(gè)簡(jiǎn)單小型的單元內(nèi)，測(cè)量范圍從5X10^-10毫巴至大氣壓（3.8X10^-10乇至大氣壓）。復(fù)合技術(shù)降低了安裝，設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇一個(gè)經(jīng)濟(jì)型規(guī)管內(nèi)的BPG402-S帶有兩根敷涂銥的氧化釔燈絲，用于普及和可再現(xiàn)過(guò)程中的基本壓強(qiáng)測(cè)量。當(dāng)更換傳感器時(shí)，帶有在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)的傳感元件保證高度的重復(fù)性。

這種 Bayard 熱電離（雙絲極）皮拉尼結(jié)合真空計(jì) BPG402-S 系列直接取代 ITR 200 系列熱電離皮拉尼發(fā)射器：

好處

• 從 5 x ^10-10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x ^{10-10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測(cè)量范圍}

• 在 ^10-8 ...^10-2 mbar 5% 工藝壓力范圍內(nèi)為表現(xiàn)出優(yōu)秀的重復(fù)性

• 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)絲極，防止過(guò)早燒毀

• 雙長(zhǎng)使用壽命氧化釔銥絲

• 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場(chǎng)總線接口

• 高真空皮拉尼自動(dòng)調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)

• 傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，易于更換，可保證高再現(xiàn)性

• 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

新聞

• 新！ 現(xiàn)在提供 EtherCAT 數(shù)字接口！

典型應(yīng)用

• 對(duì)半導(dǎo)體過(guò)程和傳輸腔室的壓力測(cè)量

• 工業(yè)鍍膜

• 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制

優(yōu)越性：

1、  極寬的測(cè)量范圍從5X10^-10毫巴至大氣壓（3.8X10^-10乇至大氣壓）

2、  極好的重復(fù)性，過(guò)程壓強(qiáng)范圍從10^-8…10^-2毫巴均為5%

3、  皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)B-A型系統(tǒng)，防止燈絲過(guò)早燒毀和高壓強(qiáng)運(yùn)行產(chǎn)生污染

4、  兩根敷涂銥的氧化釔長(zhǎng)壽燈絲

5、  可選圖形顯示和Fieldbus接口

6、  自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)

7、  易于更換傳感元件，帶有在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)保證高度的重復(fù)性

8、  符合RoHS

 用途：

1、  半導(dǎo)體工藝過(guò)程和傳輸室中的壓強(qiáng)測(cè)量

2、  工業(yè)鍍膜

3、  從低至超高真空范圍的一般真空測(cè)量和控制