深圳市科銳詩汀科技有限公司
                  
          
 
                    

                  



                  
  
                  
               
             
             
                  
            
                     
                  
                         
                  
                  
                  
                 
                  
            
                   
            
  
                  

                  



                  
    
 
    
                  
        
                  
            
            
            
        
                  
          
    
                  
    

                  













                  

                  
    
                  
         
                  
           
                  
                 
                  
                  
                 
                  
                   
                  
                    聯(lián)系人：劉曙東  
                     
                    手　機：13926558058
                  
                    電　話：0755-26028990
                  
                    傳　真：0755-26028992
                   
                    郵　箱：crystal8058@vip.163.com
                   
                    網(wǎng)　址：www.mowatch.cn
                   
                    地　址：
                  深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道勞動社區(qū)西鄉(xiāng)大道和寶源路交匯處中央大道B座（寫字樓）6I
                  
                   
                  
                   
               
                   
         
                  
         
                  
         
             
                  
               MKS質(zhì)量流量計
               
                
             
                  
            
                  
              
                  
                
                  
                    
                  
                       
                    
                  
                
                  
                
                  
                    
                  MKS P250A金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器
                  
                     
                  P250A是金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器，能夠在100至250 slm的氮氣滿量程流量范圍內(nèi)運行，并具有獨特的控制閥設(shè)計，可實現(xiàn)快速的設(shè)定點響應(yīng)，同時保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠低于其他高流量MFC。P250A具有快速的建立時間（不到2秒）和1％的設(shè)定點精度，勝過其他典型的高流量MFC。
                     
                  
                   
                    
                  如有疑問，請與我們聯(lián)系！服務(wù)熱線：0755-260289900755-26028990
                  
                     
                  
                        
                
                  
             
                  
           
                  
           
                  
           
                  產(chǎn)品詳情
                  
           
                  
               
                  高性能，大流量250 slm質(zhì)量流量控制器
                   P250A是金屬密封的多氣體/多量程質(zhì)量流量控制器，能夠在100至250 slm的氮氣滿量程流量范圍內(nèi)運行，并具有獨特的控制閥設(shè)計，可實現(xiàn)快速的設(shè)定點響應(yīng)，同時保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠低于其他高流量MFC。P250A具有快速的建立時間（不到2秒）和1％的設(shè)定點精度，勝過其他典型的高流量MFC。
                  ·        流速從100到250 slm
                  ·        設(shè)定值精度為1％的多氣體/多量程
                  ·        模擬量I / O：0至5 VDC，4至20 mA
                  ·        數(shù)字量I / O：DeviceNet，RS485，Profibus
                  技術(shù)指標(biāo)
                  滿量程流量范圍
                  100至250 slm（相當(dāng)于N2）
                  溫度顯示
                  0至85°C
                  最大入口壓力
                  150磅/平方英寸
                  溫度精度
                  ±2°攝氏度
                  正常工作壓力差
                  25至45 psid（在MFC出口處為大氣壓）
                  溫度分辨率
                  0.1°攝氏度
                  耐壓
                  1000磅/平方英寸
                  顯示
                  數(shù)值為4位數(shù)字，單位為4個字符
                  爆破壓力
                  1500磅/平方英寸
                  配件類型
                  世偉洛克?8VCR?
                  控制范圍
                  滿量程的2％至100％
                  外部泄漏完整性
                  <1 x 10 -10（scc / sec He）
                  典型精度
                  滿量程的20％至100％時為設(shè)定值的±1％
                  滿量程的2％至20％時為滿量程的±0.2％
                  封閉閥的泄漏完整性
                  在40 psia至vac（<500 mTorr）時，小于已配置滿量程的1.0％
                  重復(fù)性
                  讀數(shù)的±0.3％
                  濕材料
                  316L SS VAR，316 SS，Elgiloy，430FR，Buna-N，鎳，聚酰亞胺
                  解析度
                  讀數(shù)的0.1％
                  表面處理
                  平均Ra 10 μinch
                  零溫度系數(shù)
                  <滿量程的0.05％/°C
                  重量
                  3磅（1.4公斤）
                  跨度溫度系數(shù)
                  <讀數(shù)的0.08％/°C
                  合規(guī)
                  符合89/336 / EEC的CE
                  進氣壓力系數(shù)
                  <讀數(shù)的0.02％/ psi
                  所需的DeviceNet輸入功率
                  每個DeviceNet?規(guī)格為+11至+25 VDC（@ <9瓦）
                  典型建立時間
                  50 psi以下時，通常在10％滿刻度以上<3秒（典型值）
                  DeviceNet連接器
                  5針微連接器
                  熱身時間
                  30分鐘
                  DeviceNet數(shù)據(jù)速率開關(guān)選擇
                  4個位置：125、250、500K（默認），GM（可通過網(wǎng)絡(luò)編程）
                  工作溫度
                  10°至50°C
                  DeviceNet網(wǎng)絡(luò)規(guī)模
                  多達64個節(jié)點
                  儲存濕度
                  0至95％相對濕度，無凝結(jié)
                  DeviceNet網(wǎng)絡(luò)拓撲
                  同一網(wǎng)絡(luò)電纜上的線性（中繼線/吊線）電源和信號
                  貯存溫度
                  -20°至80°C


                  特征
                  簡短的流程步驟性能
                  P250A的快速建立時間（少于2秒）和一（1）％的設(shè)定點精度的性能超過了其他典型的高流量MFC?？刂颇芰山档椭猎O(shè)備配置的滿量程的2％。這些功能與設(shè)備的多氣體/多量程功能相結(jié)合，擴展了用戶的能力，可將MOCVD，硅外延，RTP和擴散/氧化應(yīng)用所需的高流量MFC庫存降至最低。
                  多氣體/多量程功能
                  通過設(shè)備的嵌入式軟件和標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)接口，無需使用特殊軟件或硬件即可運行，只需一個標(biāo)準(zhǔn)Web瀏覽器和一臺PC，即可輕松實現(xiàn)多氣體/多量程功能的使用。對于使用中的典型高流量氣體，已經(jīng)在設(shè)備上存儲了重要的氣體參數(shù)。只需選擇氣體并指定滿量程流量范圍即可配置設(shè)備。該界面還允許用戶執(zhí)行設(shè)備診斷，繪制流程并存儲數(shù)據(jù)以進行離線分析。
                  P系列質(zhì)量流量控制器概述
                  P系列高性能MFC具有全數(shù)字控制架構(gòu)，可在可操作設(shè)備范圍內(nèi)快速響應(yīng)設(shè)定值。嵌入式Web瀏覽器應(yīng)用程序允許更改氣體類型和滿量程流量，從而通過最小化必須保留在庫存中的MFC的數(shù)量和種類來降低總體成本。