深圳市科銳詩(shī)汀科技有限公司
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                  MKS質(zhì)量流量計(jì)
                  MKS I系列IE1000A質(zhì)量流量控制器
                  I系列IE1000A質(zhì)量流量控制器是采用IP66防護(hù)等級(jí)的彈性體密封的多氣體/多量程MFC,設(shè)計(jì)用于苛刻的工業(yè)環(huán)境,在這些環(huán)境中,必須具有耐液體和灰塵侵入的性能。IE1000A的滿量程范圍為501到1000 slm(相當(dāng)于N2)。獨(dú)特的控制閥設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)如此寬的流量范圍,該設(shè)計(jì)對(duì)設(shè)定點(diǎn)變化做出快速響應(yīng),同時(shí)保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠(yuǎn)低于其他高流量質(zhì)量流量控制器。

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                  產(chǎn)品詳情

                  IP66額定多氣體,多范圍彈性體密封500-1000 slm質(zhì)量流量控制器

                   I系列IE1000A質(zhì)量流量控制器是采用IP66防護(hù)等級(jí)的彈性體密封的多氣體/多量程MFC,設(shè)計(jì)用于苛刻的工業(yè)環(huán)境,在這些環(huán)境中,必須具有耐液體和灰塵侵入的性能。IE1000A的滿量程范圍為501到1000 slm(相當(dāng)于N2)。獨(dú)特的控制閥設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)如此寬的流量范圍,該設(shè)計(jì)對(duì)設(shè)定點(diǎn)變化做出快速響應(yīng),同時(shí)保持封閉的電導(dǎo)率泄漏率遠(yuǎn)低于其他高流量質(zhì)量流量控制器。

                  ·        流量從500到1000 slm

                  ·        Viton,Buna,氯丁橡膠或EPDM的密封件和閥塞選件

                  ·        模擬,RS485,Profibus?或DeviceNet?I / O

                  ·        標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0%

                  ·        1-2秒建立時(shí)間

                  技術(shù)指標(biāo)

                  滿量程流量范圍

                  501-1000 slm(相當(dāng)于N2)

                  儲(chǔ)存濕度

                  0至95%相對(duì)濕度,無(wú)凝結(jié)

                  最大入口壓力

                  150磅/平方英寸

                  貯存溫度

                  -20°至65°C

                  正常工作壓力差

                  40至50 psid

                  外部泄漏完整性

                  <1 x 10 -9(scc / sec He)

                  爆破壓力

                  1500磅/平方英寸

                  封閉閥的泄漏完整性

                  在40 psia至vac時(shí)<1.0%滿量程(<500 mTorr)

                  控制范圍

                  滿量程的2%至100%

                  濕材料

                  316 SS,Elgiloy,430FR,PTFE(標(biāo)準(zhǔn))

                  典型精度

                  滿量程的20%至100%時(shí)為設(shè)定值的±1%
                  滿量程的5%至20%時(shí)為滿量程的0.25%

                  密封材料

                  Viton?(VI級(jí))或EPDM(VI級(jí))

                  重復(fù)性

                  讀數(shù)的±0.5%

                  表面處理

                  平均Ra 16 μinch

                  解析度

                  讀數(shù)的0.1%

                  重量

                  12.7磅 (5.8公斤)

                  零溫度系數(shù)

                  <滿量程的0.05%/°C

                  外殼等級(jí)

                  IP66

                  跨度溫度系數(shù)

                  <0.08%的讀數(shù)/°C

                  合規(guī)

                  CE認(rèn)證

                  進(jìn)氣壓力系數(shù)

                  <0.08%的讀數(shù)/ psi

                  電源要求

                  +15至+24 VDC @(<8瓦)

                  典型建立時(shí)間

                  在50 psi的10%滿量程下典型<3秒

                  流量輸入輸出信號(hào)

                  電壓:0至5 VDC
                  電流:4至20 mA

                  熱身時(shí)間

                  1小時(shí)

                  模擬量I / O連接器

                  電壓:15針“ D”型公頭
                  電流:15針“ D”型公頭

                  工作溫度

                  10°至50°C

                  儲(chǔ)存濕度

                  0至95%相對(duì)濕度,無(wú)凝結(jié)

                  特征

                  快速建立時(shí)間

                  2至3秒的建立時(shí)間和低于設(shè)定值1%的設(shè)定點(diǎn)精度超過(guò)了其他典型的高流量MFC。精確控制保持在MFC配置的滿量程流量范圍的2%。多氣體/多量程功能,以及針對(duì)精度,控制范圍和瞬態(tài)響應(yīng)的嚴(yán)格性能規(guī)格,使用戶可以最大程度地減少高流量MFC零件編號(hào)的庫(kù)存。

                  多氣體/多量程功能

                  可通過(guò)MFC的嵌入式診斷界面訪問(wèn)多氣體/多量程功能(以及其他自定義控件),而無(wú)需任何特殊的軟件或硬件即可操作。所有需要的工具都是標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)電纜和支持JAVA的HTML瀏覽器。典型的高流量氣體的關(guān)鍵氣體參數(shù)已存儲(chǔ)在設(shè)備中。配置設(shè)備僅是從下拉菜單中選擇氣體并指定所需的滿量程流量范圍。診斷界面還允許用戶執(zhí)行常規(guī)設(shè)備運(yùn)行狀況檢查,繪制流量響應(yīng)并存儲(chǔ)操作數(shù)據(jù)以進(jìn)行離線分析。

                  IP66防護(hù)等級(jí)

                  Thesre質(zhì)量流量控制器設(shè)計(jì)用于要求抵抗液體和灰塵進(jìn)入的惡劣環(huán)境。應(yīng)用包括可能需要“軟管縮水”的應(yīng)用,例如工業(yè)玻璃生產(chǎn)中存在水分和微粒的情況。這些MFC具有IP66防護(hù)等級(jí)的外殼,可以滿足這些苛刻環(huán)境的嚴(yán)格要求。