MKS QL系列SurePower?射頻電源（13.56MHz電源）

MKS 13.56 MHz射頻電源功率從3.5KW到13KW。

SurePower?射頻等離子體發(fā)生器的平臺是目前在售的最先進的13.56MHz發(fā)電機。SurePower?射頻電源采用國家最先進的射頻拓撲結(jié)構(gòu)，特制的固有功率放大器的保護，改進設(shè)計利潤率，和嵌入式V-L探測傳感器，實現(xiàn)最高可靠性，可重復性，是目前市場上準確性極佳的發(fā)電機。該平臺在13.56MHz一個3U高度封裝提供最高功率（13千瓦）?？蛇x的自動頻率調(diào)諧允許使用固定匹配網(wǎng)絡(luò)進行更快的調(diào)整，更大的整體系統(tǒng)的可靠性，和低成本。該發(fā)電機可以添加多個CEX或常用激振器同步操作。SurePower?射頻電源提供功率從3.5kW 到13.0kW。

卓越的性能

更具競爭力的產(chǎn)品及更高的功率水平

最大傳遞功率的等離子體

優(yōu)良的可靠性

該13.56MHz射頻功率發(fā)生器適用于多行業(yè)，多領(lǐng)域應用。包括：PECVD系統(tǒng)、PVD、ALD、蝕刻和帶集成電路的制造，太陽能單元、平板顯示器和數(shù)據(jù)存儲裝置。

特點和優(yōu)點：

特殊的工藝性能——精度在一個寬的動態(tài)范圍

嵌入式傳感器技術(shù)高精度功率測量在一個很寬的動態(tài)范圍內(nèi)最積極的不匹配負載

保證可重復的工藝性能設(shè)置點可溯源到NIST的正向功率精度為1%

頻率不敏感控制可過濾掉互調(diào)（IMD）產(chǎn)品

增加值——額外的權(quán)力和功率裕度及較好光譜純度

同類產(chǎn)品里最大可用功率為13KW

比目前市場提供的負載不匹配多15%到50%的功率

更快更高的功率，更可靠的先進納米尺度的性能工藝

增加光譜純度用于提供一個更好的清潔信號過程控制

自動頻率調(diào)諧高達5%帶寬——更高的調(diào)諧速度，改進的可靠性和較低的成本

自動頻率調(diào)諧（后）阻抗匹配定位最佳工作頻率為最佳功率傳輸，保證改進的均勻性

AFT提供能力de-tune13.56MHz消除發(fā)電機之間的串擾更大等離子體的穩(wěn)定性

AFT消除了對機械匹配調(diào)整的需要提供改進的系統(tǒng)可靠性和低成本

AFT提高了調(diào)速30-50x機械更大生產(chǎn)力的速率

正常運行時間卓越的生產(chǎn)力和可靠性

專利保護電路限制反射功率成晶體管允許放大器穿過最不利的負載條件，如等離子體瞬變和弧

先進的內(nèi)部診斷提供更好的現(xiàn)場為降低平均修復時間和更高的可用性故障排除

SurePower?射頻等離子體發(fā)生器性能

在SurePower?平臺結(jié)合了高性能具有靈活、可靠的設(shè)計規(guī)格。結(jié)果是一個最苛刻的薄膜的一個強大的平臺應用

                                 圖1  SurePower?發(fā)電機正向功率精度與輸出功率

干凈的光譜性能

 對該設(shè)計的SurePower?功率放大器采用高級低通濾波。抑制能力諧波，確保一個干凈的光譜響應。如圖所示在圖2和圖3，SurePower?具有最大的諧波輸出- 50dB到50歐姆的負載和精度過程的重復性。

                        圖2 SurePower?6.5kw射頻發(fā)生器顯示干凈的光譜響應 

                                 圖3 SurePower?發(fā)電機2:1VSWR showing low spurs

 輸出功率的準確性

嵌入式伏安傳感器SurePower?設(shè)計取代傳統(tǒng)的定向耦合器發(fā)電機。更精確的測量電壓電流傳感器負載條件，并提供反饋控制交付即使在負載不匹配的存在下的功率。結(jié)果改進了在全動態(tài)范圍內(nèi)的功率精度操作。（見圖4。）

                             圖4 3.5kW SurePower?具有可選擴展低功率精度的發(fā)電機

 MKS QL系列SurePower?射頻電源產(chǎn)品詳細資料：