深圳市科銳詩汀科技有限公司
                  
          
 
                    

                  



                  
  
                  
               
             
             
                  
            
                     
                  
                         
                  
                  
                  
                 
                  
            
                   
            
  
                  

                  



                  
    
 
    
                  
        
                  
            
            
            
        
                  
          
    
                  
    

                  













                  

                  
    
                  
         
                  
           
                  
                 
                  
                  
                 
                  
                   
                  
                    聯(lián)系人：劉曙東  
                     
                    手　機：13926558058
                  
                    電　話：0755-26028990
                  
                    傳　真：0755-26028992
                   
                    郵　箱：crystal8058@vip.163.com
                   
                    網(wǎng)　址：www.mowatch.cn
                   
                    地　址：
                  深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道勞動社區(qū)西鄉(xiāng)大道和寶源路交匯處中央大道B座（寫字樓）6I
                  
                   
                  
                   
               
                   
         
                  
         
                  
         
             
                  
               公司動態(tài)
               
                
             
                  
           
                  
              
                  粉塵問題 | 從主機臺腔體到尾氣處理的全鏈路解決方案
                  
              來源：本站  發(fā)布時間：2026-01-13 13:15:49  點擊次數(shù)：0
    
                  
    
                  粉塵問題 | 從主機臺腔體到尾氣處理的全鏈路解決方案
                  在半導體制造的CVD、ALD、ETCH等等核心制程中，微納米級粉塵的產(chǎn)生幾乎不可避免。這些粉塵來自于工藝反應的固態(tài)副產(chǎn)物，或者是設備部件磨損的碎屑，常與腐蝕性氣體混合，看似微小，卻會引發(fā)全產(chǎn)線的“堵塞危機"。從主機臺腔體、真空管道到尾氣處理系統(tǒng)，都可能成為粉塵堆積的重災區(qū)。

                  -粉塵堵塞問題-
                  ? 需要頻繁停機清潔管路，增加運維成本
                  ? 常與腐蝕性氣體結合，加速設備與零件磨損
                  ? 制程腔內(nèi)受到污染，拉低產(chǎn)品良率
                  ? 粉塵堆積-設備磨損-更多粉塵-更頻繁維護


                  全鏈路粉塵問題解決方案Total Solution
                  CVD/ALD/Dry Etch/EPI等制程設備
                  粉塵問題 | 從主機臺腔體到尾氣處理的全鏈路解決方案
                  ? 真空閥門、腔體的客制化設計與生產(chǎn)
                  ? 真空管路設計及零配件的全鏈路供應
                  ? Cyclone/Cold Trap粉塵分離器供應
                  ? 減少反應腔粉塵顆粒污染
                  真空泵服務
                  粉塵問題 | 從主機臺腔體到尾氣處理的全鏈路解決方案
                  ? Pump防腐抗粘黏涂層WEH?涂裝
                  ? Fore Line管道優(yōu)化涂層WEH?涂裝
                  ? 24/7 真空泵閥全天候維修中心
                  ? 全新泵/二手泵閥買賣維修服務
                  真空泵到日揚Wet SCR
                  粉塵問題 | 從主機臺腔體到尾氣處理的全鏈路解決方案
                  ? 排氣管道工程設計與制造安裝
                  ? 零部件涂裝防粘防腐涂層WEH?
                  ? 微氣泡負壓型Wet Scrubber減少堵塞
                  日揚Wet SCR到Burn SCR
                  粉塵問題 | 從主機臺腔體到尾氣處理的全鏈路解決方案
                  ? 管道工程設計與制造安裝
                  ? 管道外節(jié)能加熱帶HIM系統(tǒng)
                  ? 管道內(nèi)耐高溫防腐涂層WEH? 
                  ? 負壓增強器P2A-PVC/PTFE,增大吸力
                  防堵塞核心：WEH?涂層和Wet SCR設備
                  微氣泡負壓型濕式除塵器（wet Scrubber）高達-25kpa吸力可抽取fore line管路的粉塵避免積壓，設備中高達95%的粉塵去除率可緩解后端管路堵塞難題，保證Burn SCR的正常運行。
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                   微氣泡負壓型Wet SCR
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                  解決Dry Pump、Pump Line、Scrubber和排氣主管道的粉塵阻塞問題，粉塵去除率高達95%，延長PM周期實現(xiàn)zui you稼動率
                  —M600型號Wet SCR介紹—
                  —Wet SCR排氣濕度監(jiān)測—

                  WEH?涂層負責緩解真空泵以及管路中的粉塵粘黏和腐蝕問題，配合加熱帶的使用讓涂層性能更優(yōu)，從已驗證的大廠案例中看，普遍能延長堵塞周期2-40倍，節(jié)省大筆維保費用。
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                   真空納米涂層WEH?和NFH?
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                  該涂層有著良好的疏水性、耐溫性、抗腐蝕性以及高硬度、低粗糙度的優(yōu)點，可以提高零件的使用壽命，降低管道堵塞風險。NFH?為不含氟版本。

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