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INFICON BAG402 B-A 型真空計(jì)(中到超高真空真空計(jì))

B-A 型真空計(jì)BAG402（中到超高真空真空計(jì)）

INFICON 單 Bayard-Alpert 熱電離真空計(jì) BAG402 涵蓋從 5×^10-10 mbar 至 2.7×^10-2 mbar（3.75×^10-10 Torr 至 5×^10-2 Torr）的廣泛測(cè)量范圍。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動(dòng)真空計(jì)套裝，在低成本、可重復(fù)的工藝過(guò)程中進(jìn)行基礎(chǔ)壓力測(cè)量。獨(dú)特的雙絲極結(jié)構(gòu)提供更優(yōu)異的精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和長(zhǎng)使用壽命。

優(yōu)勢(shì)

_ 測(cè)量范圍從 5 x 10^-10毫巴至 6.7 x 10^-2 毫巴 (3.75 x 10^-10乇至 5 x 10^-2乇)

_ 的再現(xiàn)性在過(guò)程壓強(qiáng)從 10^-8 … 10^-2毫巴的范圍內(nèi)為 5%

_ 過(guò)壓檢測(cè)保護(hù)燈絲防止過(guò)早燒毀

_ 兩根涂敷氧化釔的長(zhǎng)壽命銥燈絲

_ 可提供以太網(wǎng)現(xiàn)場(chǎng)總線接口

_ 發(fā)射電流選擇降低控制的復(fù)雜性

_ 易于更換傳感元件和在機(jī)校準(zhǔn)數(shù)據(jù)保證高的再現(xiàn)性

_ RoHS 兼容性

應(yīng)用

_ 在半導(dǎo)體過(guò)程和傳送室中的壓強(qiáng)測(cè)量

_ 工業(yè)鍍膜

_ 在低至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測(cè)量和控制