CDG160D, CDG200D.pdf

INFICON CDG160D/CDG200D電容膜片真空計(1...1000乇/毫巴）

電容膜片真空計

Sky CDG160D, CDG200D 1 ... 1000 乇/毫巴

INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高溫壓力計是實現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D 和 CDG200D 真空計溫度分別控制在160 °C 和 200 °C，具有zhuoyue的性能，適用于苛刻的半導體和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用，帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口，能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對數(shù)壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜，具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復的速度更快、預熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質(zhì)zhuoyue，jiju成本效益，適用于苛刻的半導體、等離子和真空應用。

好處

• 更低的 CoO（擁有成本）、預熱速度提高 50%、節(jié)能低功耗

• 易于集成，各種滿量程、法蘭和接口，標配兩個設定點

• 簡單的一個按鈕或遠程信號歸零命令，零點偏移可調(diào)

• 用于快速維修和維護的診斷端口

• 兩年保修，通過加熱概念和儀表保護延長使用壽命

• 由于具有出色的信號穩(wěn)定性和可重復性，因此無需長期重新校準，即使在惡劣的等離子體應用中也是如此

• 合規(guī)性和標準：CE，EN，UL，SEMI，RoHS

典型應用

• 蝕刻、CVD、PVD等半導體生產(chǎn)工藝

• 化學和腐蝕性高溫工藝

• 需要壓力表保護的一般薄膜和真空工藝