MPG400.pdf

INFICON MPG400/401反磁控皮拉尼真空計(jì)INFICON (大氣壓至超高真空)

冷陰極和皮拉尼復(fù)合真空規(guī)

INFICON的冷陰極和皮拉尼的復(fù)合真空規(guī)MPG400和MPG401, 測(cè)量范圍從5x10-9毫巴至大氣壓(3.8 x10-9乇至大氣壓).將兩種測(cè)量方式組合在一個(gè)具有對(duì)數(shù)模擬輸出的小型單元內(nèi),大大地降低了安裝,設(shè)置和集成的復(fù)雜性

MPG400的優(yōu)點(diǎn)：

復(fù)合真空規(guī) – 冷陰極與皮拉尼

寬的壓強(qiáng)測(cè)量范圍從5x10-9 毫巴至大氣壓

無(wú)可燒毀的燈絲

的引燃功能

易清洗

FPM 或金屬密封的饋入件

高壓加上時(shí)LED 指示燈亮

對(duì)數(shù)模擬輸出訊號(hào)

MPG400的應(yīng)用：

高真空壓強(qiáng)監(jiān)測(cè)

蒸發(fā)和濺射系統(tǒng)的壓強(qiáng)測(cè)量

一般真空測(cè)量和控制,從中至高真空范圍