CDG025D.pdf

INFICON CDG025D/CDG025D-S電容膜片真空計(jì)(0.1 ...1000 托 / 毫巴)

NFICON SKY CDG025D 電容隔膜式壓力計(jì)系列高精度溫度補(bǔ)償壓力計(jì)專為在惡劣的制造工具環(huán)境中實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定性能而設(shè)計(jì)。先進(jìn)的數(shù)字電子元件提高了儀表性能，并提供易于操作的功能，例如一鍵歸零功能和設(shè)定值調(diào)整。耐腐蝕陶瓷傳感器提供出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性，預(yù)期壽命長達(dá)數(shù)百萬次壓力循環(huán)，包括大氣爆破。獨(dú)特的傳感器屏蔽（正在申請(qǐng)專利）可保護(hù)壓力表免受過程污染。堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子元件提高了EMC兼容性、長期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。CDG025D為上電后的快速穩(wěn)定性和從大氣壓暴露中快速恢復(fù)設(shè)定了新的標(biāo)準(zhǔn)。
INFICON 的 CDG025D 是下面列出的部件號(hào)的直接直接替代產(chǎn)品，可根據(jù)要求提供許多其他插入式產(chǎn)品。

好處

• 與競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品完全兼容

• 全刻度范圍從 100 毫托 ...1000 托

• 電源接通后快速穩(wěn)定

• 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)

• 防腐陶瓷傳感器

• 卓越的長期信號(hào)穩(wěn)定性

• 溫度補(bǔ)償

• 傳感器防污染保護(hù)

• 一鍵調(diào)零功能

• 電源范圍廣

典型應(yīng)用

• 用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備

• 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示制造設(shè)備

• 工業(yè)真空設(shè)備

• 常規(guī)高精度壓力測(cè)量