RQCM石英微天平的詳細(xì)資料：

產(chǎn)品說(shuō)明：

      RQCM是可以在材料沉積、分解或滲透過(guò)程中測(cè)量薄膜屬性的一種非常先進(jìn)的方法，系統(tǒng)最多支持3片晶片同時(shí)被測(cè)量，所有數(shù)據(jù)會(huì)被隨時(shí)記錄并通過(guò)軟件轉(zhuǎn)變成圖表實(shí)時(shí)顯示到電腦的Windows窗口上，以便于觀察。整套系統(tǒng)主要由石英晶體微天平、頻率范圍為3.8MHz-6MHz或5.1MHz-10MHz的鎖相振蕩器、以及晶片固定器（按不同材質(zhì)，不同安裝方法分為CHC-100/CHK-100/CHT-100三種）和液體槽（FC-550和GC-15）所構(gòu)成；另外，RQCM系統(tǒng)中所使用的晶片也與工業(yè)用的晶片不一樣，其中主要體現(xiàn)在晶片的尺寸上，微天平中所用的晶片都為直徑1″的大尺寸晶片,依據(jù)不同屬性，不同的工作溫度,形成一個(gè)系列，詳見附件。

主要特點(diǎn)：

       1）晶體的頻率、質(zhì)量、阻抗可實(shí)時(shí)測(cè)量

      2）基于Windows下的軟件支持

      3）支持3片晶片同時(shí)測(cè)量

      4）測(cè)量分辨率<0.4ng/cm²

        5）支持晶片滿載工作

      6）具有可調(diào)抵消電容

      7）晶片電極完全電信號(hào)隔離
      8）機(jī)載的數(shù)據(jù)獲取功能