0755-26028990MDC-360C晶體膜厚控制儀的詳細(xì)資料:
主要特點(diǎn):
1)信息直觀——4色LCD大屏幕液晶顯示器,可實(shí)時顯示圖表及各種重要信息,并可以通過按鍵在圖表界面和狀態(tài)界面間隨時地進(jìn)行切換。
2)操作簡便——直觀的菜單模式,32種預(yù)置的材料數(shù)據(jù)庫以及alpha數(shù)字鍵區(qū),最大程度地方便了用戶的操作和使用。
3)功能強(qiáng)大——最大可擴(kuò)展到四路探頭輸入,儲存多達(dá)99種工藝過程,999種定義膜層和32種預(yù)置的材料數(shù)據(jù)庫。
4)自動控制——自動切換晶片,當(dāng)晶片失效時,自動暫?;蛑袛嚯娫矗换謴?fù)正常后,可連續(xù)運(yùn)行,不需要從頭開始。
5)個性設(shè)置——可修改純粹用數(shù)字和編碼命名的輸入/輸出信息、控制程序和材料名稱,使其易于辨認(rèn),避免混淆。
6)安全可靠——人性化的聲音提示和報警系統(tǒng),音量大小可調(diào)節(jié)。
主要技術(shù)參數(shù):
頻率分辨率 0.03 Hz,在6.0 MHz基準(zhǔn)頻率上
質(zhì)量分辨率 0.375 ng/cm2
支持晶片頻率 2.5, 3, 5, 6, 9.5, 10 MHz
膜厚顯示 0.000~ 999.9 K埃
成膜速率 00.0~999 Ang/sec (0~9.99μm/min)
膜層數(shù)量 001~999
圖形顯示 240×64 LCD ,CCFL背景源
產(chǎn)品特點(diǎn):膜厚控制儀的工作原理不同于膜厚監(jiān)測儀,它可以利用自身的閉環(huán)回路對鍍膜過程中膜料的沉積速率、膜層厚度進(jìn)行實(shí)時的監(jiān)測和控制,以使鍍膜效果達(dá)到最佳狀態(tài)。MDC-360是基本型,具有安裝/調(diào)試方便、操作簡單、正面輸入、功能齊全等特點(diǎn),并集中了多項(xiàng)為客戶提供便捷的設(shè)計成果,產(chǎn)品系列中以MDC-360C最具代表性,它融合了MDC-360和MDC-370兩種機(jī)型的優(yōu)點(diǎn),目前也是口碑最佳,市場保有量最高的首選機(jī)型