ALD探頭（傳感器）.pdf

INFICON ALD探頭（傳感器）

在 ALD 應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)最佳準(zhǔn)確度、正常運(yùn)行時(shí)間和最少維護(hù)
INFICON ALD 傳感器將石英晶體微天平（QCM）測(cè)量的可重復(fù)性、精確性和耐用性帶入原子層沉積 （ALD）。ALD 傳感器可承受高達(dá) 450oC 的高溫，設(shè)計(jì)在嚴(yán)苛的 ALD 應(yīng)用環(huán)境中運(yùn)行。裸露的晶體電極完全接地以有效地消除與電干擾有關(guān)的任何潛在問題。
專為 ALD 而設(shè)計(jì)
INFICON ALD 傳感器特有的一種功能是導(dǎo)氣管，通過它可使用惰性氣體吹掃晶體和傳感器后側(cè)，通常使用氮?dú)狻＿@可防止反應(yīng)室的氣體進(jìn)入傳感器頭，并確保晶體背面和電氣觸點(diǎn)無沉積材料。這種技術(shù)可在不適合使用標(biāo)準(zhǔn) QCM 的系統(tǒng)中實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量。
饋入件和饋入件連接
INFICON ALD 傳感器可采用自定義焊接長(zhǎng)度，也可采用長(zhǎng)度可調(diào)的壓縮接頭而無需銅焊或焊接。所有配置都使用 2 3/4in. （CF40） ConFlat? 法蘭饋入件。
高溫晶體實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的測(cè)量
與 INFICON 的新型高溫石英晶體結(jié)合使用時(shí)，INFICON ALD 傳感器可在高溫應(yīng)用中達(dá)到最佳測(cè)量精度和較低的頻率噪聲。這些高溫晶體針對(duì) 120、240 和 285°C 應(yīng)用進(jìn)行了優(yōu)化，因此您總能獲得適合自己應(yīng)用的正確晶體。也可提供針對(duì)其他溫度優(yōu)化過的晶體。請(qǐng)根據(jù)自己的需求聯(lián)系 INFICON。

功能

• 工作溫度高達(dá) 450°C

• 氣體吹掃管路可防止晶體背面出現(xiàn)沉積材料

• 焊接式 Conflat 法蘭 （CF40） 選件

• O 形密封環(huán)壓縮接頭選件

• 提供高溫晶體

好處

• 與大多數(shù) ALD 過程溫度兼容

• 明顯減少維護(hù)工作

• 最大化系統(tǒng)運(yùn)行時(shí)間

• 最大化測(cè)量精度

• 在高過程溫度下可獲得低噪聲的穩(wěn)定讀數(shù)

典型應(yīng)用

• 原子層沉積 （ALD）