傳動件

304 S.S

閥門

304 S.S

波紋管

AM350

使用壽命

真空

尺寸小于等于8英寸，300,000次

尺寸大于8英寸，50,000次

高真空

尺寸小于等于4英寸，100,000次

尺寸大于4英寸，50,000次

漏率

用O形圈密封的小于2X10^-9 mbar.l/sec

用無氧銅墊片密封的小于5X10^-10 mbar.l/sec

燒烤溫度

開閥

200℃ (Viton 密封）

閉閥

150℃ (Viton 密封）

壓力范圍

10-10 Torr至 大氣壓

可承受最大壓強

20 Torr可開啟

密封方式

閥門

Viton O型圈

閥蓋

Viton O型圈或者無氧銅墊片

滑軌方式

手動或者氣動

表面處理

拋光

選項

A、位置指示器

B、氣動控制電磁閥

C、粗抽口

D、其實材料的O型密封圈