CPM INFICON四極質(zhì)譜分析儀

CPM 的特點

■    用于監(jiān)測復(fù)雜過程的四極氣體分析系統(tǒng).

■    允許7 天24 小時連續(xù)監(jiān)測,達到最大的產(chǎn)額和產(chǎn)量, 從而將成本降至最低.

■    足夠的小型和性能,可安裝在壓強很高的真空室內(nèi).

■    HexBlock 取樣系統(tǒng)的最佳性能.

■    內(nèi)置CDG, 用于過程壓強監(jiān)測和真空聯(lián)鎖.

■    備有可選的校準(zhǔn)參考源, 用于調(diào)諧和氣體參.

■    封閉的長壽命離子源可在阻擋大多數(shù)腐蝕性和反應(yīng)性氣體的同時,檢測亞ppm 量級的污染物.

■ 重量輕,易搬運.

用戶優(yōu)越性

INFICON Transpector CPM 的下列性能可在低成本下實現(xiàn)現(xiàn)場早期報警:

■    測量氣相反應(yīng);

■    驗證真空的完整性;

■    鑒別痕量污染物;

■    測量過程與本底的組分;

■    定性氣體純度.

CPM 良好的適配性

空間是可貴的,我們的CPM占空間小,可靈活安裝.為對被分析氣體影響最小和在寬壓強范圍內(nèi)快速提供結(jié)果,我們開發(fā)了多功能的HexBlock 注入口. 為確保最高的

性能與可靠性, 我們采用已在12,000 臺以上Transpector 2 氣體分析系統(tǒng)上得到驗證的四極傳感器.為適應(yīng)某些復(fù)雜應(yīng)用,如刻蝕和CVD 中存在腐蝕性極高的氣體, 我們采用化學(xué)惰性優(yōu)等的316 不銹鋼加工。

全球支持

作為半導(dǎo)體市場RGA 產(chǎn)品的領(lǐng)先者, INFICON 具有發(fā)展創(chuàng)新與可靠的,增長產(chǎn)量的監(jiān)測系統(tǒng)資源,加上全球應(yīng)用網(wǎng)絡(luò),需要時可隨時隨地提供專家支持與協(xié)助.

CPM INFICON四極質(zhì)譜分析儀技術(shù)特點

1） 帶EM 的NDPP 在10,000 增益和1-秒停留時間下

2 ）質(zhì)量數(shù)40 對41amu 的貢獻

3 ）零blast 對2amu 的貢獻

4 ）最小可檢濃度,氪在空氣中在1-秒停留時間下

5 ）低發(fā)射下的線性,在0.1 至2 倍常規(guī)小孔壓強下

6 ）使用總壓強規(guī)管在低發(fā)射下的壓強調(diào)值

7 ）低發(fā)射下的總壓強精度

8 ）低發(fā)射下離子源最大工作壓強（燈絲關(guān)斷閾值）

9 ）在封閉型離子源中2E-4 乇,在四極場范圍中將產(chǎn)生約1E-5 乇

10） 最小EM 增益在最大EM 電壓下