深圳市科銳詩汀科技有限公司
                  
          
 
                    

                  



                  
  
                  
               
             
             
                  
            
                     
                  
                         
                  
                  
                  
                 
                  
            
                   
            
  
                  

                  



                  
    
 
    
                  
        
                  
            
            
            
        
                  
          
    
                  
    

                  













                  

                  
    
                  
         
                  
           
                  
                 
                  
                  
                 
                  
                   
                  
                    聯(lián)系人：劉曙東  
                     
                    手　機(jī)：13926558058
                  
                    電　話：0755-26028990
                  
                    傳　真：0755-26028992
                   
                    郵　箱：crystal8058@vip.163.com
                   
                    網(wǎng)　址：www.mowatch.cn
                   
                    地　址：
                  深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道勞動社區(qū)西鄉(xiāng)大道和寶源路交匯處中央大道B座（寫字樓）6I
                  
                   
                  
                   
               
                   
         
                  
         
                  
         
             
                  
               MKS質(zhì)量流量計
               
                
             
                  
            
                  
              
                  
                
                  
                    
                  
                       
                    
                  
                
                  
                
                  
                    
                  MKS I系列IE250A質(zhì)量流量控制器
                  
                     
                  I系列IE250A質(zhì)量流量控制器是采用IP66防護(hù)等級的彈性體密封的多氣體/多量程MFC，設(shè)計用于苛刻的工業(yè)環(huán)境，在這些環(huán)境中，必須具有耐液體和灰塵侵入的性能。IE250A的滿量程范圍為100到250 slm（相當(dāng)于N2）。IE250可采用模擬I / O或數(shù)字I / O，并利用最新的控制算法對設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。
                     
                  
                   
                    
                  如有疑問，請與我們聯(lián)系！服務(wù)熱線：0755-260289900755-26028990
                  
                     
                  
                        
                
                  
             
                  
           
                  
           
                  
           
                  產(chǎn)品詳情
                  
           
                  
               
                  IP66額定多氣體，多范圍彈性體密封100-250 slm質(zhì)量流量控制器
                   I系列IE250A質(zhì)量流量控制器是采用IP66防護(hù)等級的彈性體密封的多氣體/多量程MFC，設(shè)計用于苛刻的工業(yè)環(huán)境，在這些環(huán)境中，必須具有耐液體和灰塵侵入的性能。IE250A的滿量程范圍為100到250 slm（相當(dāng)于N2）。IE250可采用模擬I / O或數(shù)字I / O，并利用最新的控制算法對設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。
                  ·        流速從100到250 slm
                  ·        Viton，Buna，氯丁橡膠或EPDM的密封件和閥塞選件
                  ·        1-2秒建立時間
                  ·        標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0％
                  技術(shù)指標(biāo)
                  滿量程流量范圍
                  100-250 slm（相當(dāng)于N2）
                  儲存濕度
                  0至95％相對濕度，無凝結(jié)
                  最大入口壓力
                  150磅/平方英寸
                  貯存溫度
                  -20°至65°C
                  正常工作壓力差
                  30至55 psid
                  外部泄漏完整性
                  <1 x 10 -9（scc / sec He）
                  爆破壓力
                  1500磅/平方英寸
                  封閉閥的泄漏完整性
                  在40 psia至vac時<1.0％滿量程（<500 mTorr）
                  控制范圍
                  滿量程的2％至100％
                  濕材料
                  316 SS，17-1 SS，Elgiloy，430FR（標(biāo)準(zhǔn)）
                  典型精度
                  滿量程的20％至100％時為設(shè)定值的±1％
                  滿量程的5％至20％時為滿量程的±0.25％
                  密封材料
                  Viton?（VI級）或EPDM（VI級）
                  重復(fù)性
                  讀數(shù)的±0.5％
                  表面處理
                  平均Ra 16 μinch
                  解析度
                  讀數(shù)的0.1％
                  重量
                  4.5磅 （2.05公斤）
                  零溫度系數(shù)
                  <滿量程的0.05％/°C
                  外殼等級
                  IP66
                  跨度溫度系數(shù)
                  <0.08％的Rdg./°C
                  合規(guī)
                  CE認(rèn)證
                  進(jìn)氣壓力系數(shù)
                  <讀數(shù)的0.03％
                  電源要求
                  +15至+24 VDC @（<4瓦）
                  典型建立時間
                  通常在50 psi的10％滿刻度以上需要1到2秒
                  流量輸入輸出信號
                  電壓：0至5 VDC
                  電流：4至20 mA
                  熱身時間
                  1小時
                  模擬量I / O連接器
                  電壓：15針“ D”型公頭
                  電流：15針“ D”型公頭
                  工作溫度
                  10°至50°C


                  特征
                  快速建立時間
                  1至2秒的穩(wěn)定時間和低于設(shè)定點(diǎn)1％的設(shè)定點(diǎn)精度優(yōu)于其他典型的高流量質(zhì)量流量控制器。精確控制保持在IE250A配置的滿量程流量范圍的2％。多氣體/多量程功能，以及針對精度，控制范圍和瞬態(tài)響應(yīng)的嚴(yán)格性能規(guī)格，使用戶可以最大程度地減少高流量MFC零件編號的庫存。
                  多氣體/多量程功能
                  可通過MFC的嵌入式診斷界面訪問多氣體/多量程功能（以及其他自定義控件），而無需任何特殊的軟件或硬件即可操作。所有需要的工具都是標(biāo)準(zhǔn)的以太網(wǎng)電纜和支持JAVA的HTML瀏覽器。典型的高流量氣體的關(guān)鍵氣體參數(shù)已存儲在設(shè)備中。配置設(shè)備僅是從下拉菜單中選擇氣體并指定所需的滿量程流量范圍。診斷界面還允許用戶執(zhí)行常規(guī)設(shè)備運(yùn)行狀況檢查，繪制流量響應(yīng)并存儲操作數(shù)據(jù)以進(jìn)行離線分析。