深圳市科銳詩汀科技有限公司
                  
          
 
                    

                  



                  
  
                  
               
             
             
                  
            
                     
                  
                         
                  
                  
                  
                 
                  
            
                   
            
  
                  

                  



                  
    
 
    
                  
        
                  
            
            
            
        
                  
          
    
                  
    

                  













                  

                  
    
                  
         
                  
           
                  
                 
                  
                  
                 
                  
                   
                  
                    聯(lián)系人：劉曙東  
                     
                    手　機(jī)：13926558058
                  
                    電　話：0755-26028990
                  
                    傳　真：0755-26028992
                   
                    郵　箱：crystal8058@vip.163.com
                   
                    網(wǎng)　址：www.mowatch.cn
                   
                    地　址：
                  深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道勞動(dòng)社區(qū)西鄉(xiāng)大道和寶源路交匯處中央大道B座（寫字樓）6I
                  
                   
                  
                   
               
                   
         
                  
         
                  
         
             
                  
               MKS質(zhì)量流量計(jì)
               
                
             
                  
            
                  
              
                  
                
                  
                    
                  
                       
                    
                  
                
                  
                
                  
                    
                  GM50A和GM51A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器
                  
                     
                  GM50A和GM51A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供模擬量或RS485，Profibus?，EtherCAT?，PROFINET或DeviceNet?I / O。數(shù)字控制電子器件利用最新的MKS控制算法，可在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間約為500毫秒。
                     
                  
                   
                    
                  如有疑問，請(qǐng)與我們聯(lián)系！服務(wù)熱線：0755-260289900755-26028990
                  
                     
                  
                        
                
                  
             
                  
           
                  
           
                  
           
                  產(chǎn)品詳情
                  
           
                  
               
                  多氣體，多量程，金屬密封，50-50,000 sccm的質(zhì)量流量控制器
                  GM50A和GM51A數(shù)字控制質(zhì)量流量控制器可提供模擬量或RS485，Profibus?，EtherCAT?，PROFINET或DeviceNet?I / O。數(shù)字控制電子器件利用最新的MKS控制算法，可在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)進(jìn)行快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間約為500毫秒。數(shù)字校準(zhǔn)可在校準(zhǔn)氣體上產(chǎn)生設(shè)定點(diǎn)精度的1％。
                  ·        流量從5到50,000 sccm
                  ·        金屬密封，帶特氟龍閥塞
                  ·        多種數(shù)字（ItherCAT，DeviceNet?，Profibus?，PROFINET和RS485）或模擬（0-5 VDC或4-20 mA）I / O
                  ·        標(biāo)準(zhǔn)閉合電導(dǎo)泄漏率小于滿量程的1.0％
                  ·        少于750毫秒的建立時(shí)間
                  技術(shù)指標(biāo)
                  控制范圍
                  滿量程的2％至100％
                  進(jìn)氣壓力系數(shù)
                  <讀數(shù)的0.02％/ psi
                  滿量程流量范圍
                  5-50000 sccm（相當(dāng)于N2）
                  典型建立時(shí)間
                  <750毫秒，通常在滿量程的5％以上
                  最大入口壓力
                  150磅/平方英寸
                  熱身時(shí)間
                  30分鐘
                  正常工作壓力差
                  10至5000 sccm; 10至40 psid，10000至20000 sccm; 15至40 psid，30000至50000 sccm; 25至40 psid
                  工作溫度
                  10°C至50°C
                  耐壓
                  1000磅/平方英寸
                  儲(chǔ)存濕度
                  0至95％相對(duì)濕度，無凝結(jié)
                  爆破壓力
                  1500磅/平方英寸
                  貯存溫度
                  -20°至80°C
                  典型精度
                  20％至100％滿量程時(shí)為設(shè)定值的±1％，2％至20％滿量程時(shí)為滿量程的±0.2％
                  外部泄漏完整性
                  <1 x 10 -09（scc / sec He）
                  重復(fù)性
                  讀數(shù)的±0.3％
                  封閉閥的泄漏完整性
                  在大氣壓力為40 psig時(shí)高達(dá)10K閥門<FS的0.1％，在大氣壓力為40 psig時(shí)20K-50K閥門<FS的1.0％
                  解析度
                  滿量程的0.1％
                  濕材料
                  316L SS VAR，316 SS，Elgiloy?，鎳，KM45
                  零溫度系數(shù)
                  <滿量程的0.05％/°C
                  重量
                  3磅（1.4公斤）
                  跨度溫度系數(shù)
                  <0.08％的讀數(shù)/°C
                  合規(guī)
                  CE認(rèn)證
                  特征
                  多種數(shù)字和模擬接口選擇
                  GM50A數(shù)字控制MFC具有模擬或數(shù)字I / O。數(shù)字控制電子器件采用最新的MKS控制算法，可在整個(gè)設(shè)備控制范圍內(nèi)對(duì)設(shè)定點(diǎn)提供快速，可重復(fù)的響應(yīng)。典型的響應(yīng)時(shí)間約為500毫秒。GM50A的模擬和數(shù)字I / O可以輕松用來代替1179A MFC的相同I / O類型。所有GM50A均包含Modbus作為可用的輔助I / O（不包括PROFINET?和EtherCAT?）。
                  標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積
                  GM50A利用MFC最常使用的標(biāo)準(zhǔn)3英寸占地面積，流量范圍為5sccm至50 slm，從而無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置即可使用。
                  金屬密封
                  GM50A金屬密封MFC具有10 μ英寸電拋光316L表面光潔度，使該質(zhì)量流量控制器可用于高純度應(yīng)用。
                  設(shè)定值精度的百分比
                  附帶的數(shù)字校準(zhǔn)可在全量程流量范圍的20％至100％的情況下使用N2校準(zhǔn)氣體提供1％的設(shè)定點(diǎn)精度。設(shè)定點(diǎn)精度可實(shí)現(xiàn)精確的過程控制，相對(duì)于相對(duì)于滿量程的精度。當(dāng)質(zhì)量流量為滿刻度的2至20％時(shí)，精度為滿刻度的±0.2％。
                  嵌入式用戶界面
                  嵌入式用戶界面提供了輕松更改設(shè)備范圍和用戶氣體的能力，從而減少了庫存需求。您還可以監(jiān)視MFC功能并就地收集性能數(shù)據(jù)。
                  專利溫度傳感器
                  經(jīng)過驗(yàn)證的專利熱傳感器設(shè)計(jì)可提供出色的零穩(wěn)定性。美國專利號(hào)5461913。