深圳市科銳詩汀科技有限公司
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                  TT系列 MKS質(zhì)量流量計

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                  TT系列 MKS質(zhì)量流量計的詳細資料:

                  TT系列 MKS質(zhì)量流量計
                  πMFC 是新一代壓力不敏感數(shù)字質(zhì)量流量控制器。實時高精度流量控制是基于先進的數(shù)字算法技術(shù), 能有效地避免因壓力波動而造成的流量不穩(wěn)。 πMFC 廣泛地應(yīng)用于諸如半導(dǎo)體和薄膜生產(chǎn)工藝等高精度、 高純度氣體系統(tǒng)。 πMFC 集成壓力傳感器并顯示壓力等讀數(shù), 各種模擬和數(shù)字通訊口可選。
                  • πMFC 壓力不敏感質(zhì)量流量控制器, 滿量程范圍從10 sccm – 50 slm。

                  • πMFC 低壓質(zhì)量流量控制器, 滿量程范圍從2 – 50 sccm。