全方位安裝型復(fù)合分子泵的優(yōu)點(diǎn)

排氣范圍廣：低真空到超高真空的寬廣范圍內(nèi)排氣
大流量排氣：可排大流量的氣體
迅速啟動(dòng)：?jiǎn)?dòng)快，可縮短待機(jī)時(shí)間

耐振動(dòng)耐沖擊：經(jīng)得住壓力的急速上升，耐大氣沖擊能力強(qiáng)；且適用于受外部震動(dòng)影響的使用環(huán)境

優(yōu)越的耐久性：通過(guò)適當(dāng)?shù)木S修可長(zhǎng)期使用（泵的壽命達(dá)到10萬(wàn)小時(shí)以上）

用途：半導(dǎo)體；FPD(LCD,PDP,有機(jī)EL,FED,其他)制造 ；各種電子部件的制造 ；管球制造，光學(xué)部件（鏡片，光學(xué)過(guò)濾器等）制造；尤其適用于移動(dòng)式的排氣裝置；電子槍排氣，離子源排氣，熱處理；表面處理，表面改質(zhì)；分析，試驗(yàn)裝置 ；加速器，放射光設(shè)備，核聚變研究 ；研究開(kāi)發(fā)用

                            TG70F控制器一體型復(fù)合分子泵

*輔助泵的容量是25L/min情況下的容許最大流量
使用環(huán)境溫度：極限壓力的保證環(huán)境溫度是10-23度、容許環(huán)境溫度是8-38度
對(duì)應(yīng)氣體種類：根據(jù)抽吸氣體種類，軸承潤(rùn)滑脂或內(nèi)部部件會(huì)受損。有關(guān)對(duì)應(yīng)的氣體種類請(qǐng)咨詢
標(biāo)準(zhǔn)組合：泵+控制器用接口

特殊附屬品（另行購(gòu)買）：冷卻風(fēng)扇，控制器+電機(jī)電纜（TG20F-20的情況），自動(dòng)慢排閥，氣體吹掃接口，精密針型閥，配管部件。