ATH 1600-3200 M，ATP2300 M：抽速等級(jí)在1400-2800升/秒的緊湊型磁懸浮渦輪分子泵

可靠：

我們ATH M和ATP M系列的磁懸浮渦輪分子泵擁有5軸磁軸轉(zhuǎn)子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)和實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)子位移自動(dòng)修正功能。通過采用這種高性能的軸承技術(shù)，我們的泵不僅能確保長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性和可靠性，同時(shí)運(yùn)行時(shí)也非常安靜。此系列軸承技術(shù)的泵在半導(dǎo)體、鍍膜和干蝕刻等離子體過程行業(yè)的高真空工藝中具有標(biāo)桿地位，此外也廣泛應(yīng)用于許多其他行業(yè)和研發(fā)領(lǐng)域。

（ATP=no Holweck stage）

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

無潤(rùn)滑油的磁軸承技術(shù)實(shí)現(xiàn)真正的潔凈真空/對(duì)所有過程氣體都實(shí)現(xiàn)高氣流量/出色的穩(wěn)定性和可靠性/更好的前級(jí)泵兼容性/氣體進(jìn)入穩(wěn)定性高/免維護(hù)低成本保養(yǎng)費(fèi)/轉(zhuǎn)速可選范圍大，適合定制工藝需求/極低的噪音和震動(dòng)/可任意角度安裝/磁軸技術(shù)實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)子實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)

高性能：

我們的磁懸浮分子泵廣泛應(yīng)用于高氣流和高工作壓力的真空工藝。在研究領(lǐng)域，我們的產(chǎn)品即便在極限真空相對(duì)較低的情況下，其震動(dòng)仍舊微乎其微。寬泛的轉(zhuǎn)速范圍為各種工藝要求都提供了可能，甚至可以直接替換陳舊的高真空泵以適應(yīng)抽速的要求。

安全：

在突然停電時(shí)，即便沒有任何電源供電的情況下，轉(zhuǎn)子仍能持續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)一段時(shí)間，并且緩慢地落到安全軸承上。同時(shí)在大量大氣直接進(jìn)入或者泵的控制器和通訊線斷開的情況下，安全軸承也能起到很好的保護(hù)作用。軸承的狀態(tài)是由控制器進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。在大量的大氣進(jìn)入或者受到強(qiáng)烈的外力沖擊時(shí)，由控制器控制的氣體閥可以有效快速的進(jìn)行緊急制動(dòng)以避免分子泵遭到毀壞。

在ATH M系列的分子泵中，帶有MT型號(hào)的分子泵配有集成加熱帶可以進(jìn)行溫度控制。其中帶加熱系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)同時(shí)作用，可以確保泵的工作溫度相對(duì)恒定（最高工作溫度75度），同時(shí)最小化過程化學(xué)物或副產(chǎn)物在泵體內(nèi)因冷凝而產(chǎn)生的沉積。