0755-26028990EXT255DX Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵
性能特點
兼容TIC渦輪儀表控制器。
多種通訊模式。
*并口,用于傳統(tǒng)控制信號接口
* 串口,用于RS-232接口。
通過RS-232接口,用戶可以設(shè)置各種參數(shù)RS-232。
* 放氣閥控制設(shè)置。
* 正常泵速顯示。
* 準(zhǔn)備轉(zhuǎn)速顯示。
* 功耗。
* 泵溫。
增強(qiáng)型泵速、功耗、溫度監(jiān)測。
EXT255DX Edwards EXT復(fù)合渦輪分子泵
技術(shù)數(shù)據(jù)
前級泵也可以使用抽速更大的旋片泵,還可使用極限真空小于5mbar的隔膜泵。
* 超出該入口壓力時,轉(zhuǎn)速為額定轉(zhuǎn)速。
** 此時功率160W。
*** 沒安裝入口篩網(wǎng)。安裝篩網(wǎng)時,泵速下降約10%。
前級泵為兩級旋片泵,并烘烤48小時。
Pb <5 mbar(500 Pa)并烘烤48小時。