深圳市科銳詩汀科技有限公司
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                  真空設備
                  SVAC-FilmLab-G帶手套箱式鍍膜設備

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                  產(chǎn)品詳情

                  SVAC-FilmLab-G帶手套箱式鍍膜設備

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                  規(guī)格參數(shù)

                  真空系統(tǒng)配置:分子泵、機械泵、插板閥。

                  最大樣品尺寸:6英寸。
                  蒸發(fā)源:圓形蒸發(fā)源(金屬/有機交替分布)/束源爐。
                  外形尺寸:3800mm*1100mm*2000mm。
                  觸摸屏控制。
                  開門方式:前移門,后拉門。
                  自動控制沉積速率。
                  可整合效率測試、旋涂等前后端設備。
                  真空腔室尺寸:Φ400*400*400mm。
                  極限真空:小于5×10-5Pa。