0755-26028990SVAC-FilmLab-G帶手套箱式鍍膜設備

規(guī)格參數(shù)
真空系統(tǒng)配置:分子泵、機械泵、插板閥。
最大樣品尺寸:6英寸。
蒸發(fā)源:圓形蒸發(fā)源(金屬/有機交替分布)/束源爐。
外形尺寸:3800mm*1100mm*2000mm。
觸摸屏控制。
開門方式:前移門,后拉門。
自動控制沉積速率。
可整合效率測試、旋涂等前后端設備。
真空腔室尺寸:Φ400*400*400mm。
極限真空:小于5×10-5Pa。
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