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IMM-100薄膜沉積監(jiān)測(cè)儀

通過(guò)精確率和厚度監(jiān)測(cè)實(shí)現(xiàn)卓越 可重復(fù) 保護(hù)并增加您的利潤(rùn) IMM-100 是一款采用 ModeLock 技術(shù)構(gòu)建的沉積監(jiān)測(cè)儀，可最大限度地提高再現(xiàn)性和均勻性，同時(shí)提供最高的厚度精度、最佳的測(cè)量分辨率和最低的速率噪聲。
內(nèi)置振蕩器時(shí)，IMM-100 可以輕松地集成到 EtherCAT 系統(tǒng)中，只需極少的硬件和占地面積。這款功能強(qiáng)大且精確的測(cè)量監(jiān)視器肯定會(huì)為您的過(guò)程帶來(lái)新的性能水平。

功能

• INFICON ModeLock 技術(shù)提供最長(zhǎng)的晶體壽命，并確保最穩(wěn)定、最高分辨率和厚度測(cè)量，即使在非常低的速率下也是如此

• 通過(guò)最佳的 QCM 厚度測(cè)量實(shí)現(xiàn)產(chǎn)量最大化

• 單通道速率和厚度監(jiān)測(cè)儀，無(wú)需不必要的附加功能，以最大限度地降低成本

• ±0.0035 Hz 超過(guò) 100 ms 采樣

• 用于無(wú)縫集成的 EtherCAT 通信

• 緊湊的尺寸，通過(guò)節(jié)省工具空間來(lái)最大限度地降低集成成本

• 專家應(yīng)用支持，能夠討論獨(dú)特的應(yīng)用需求，并提供比競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手更大的支持

• 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

典型應(yīng)用

• 發(fā)光二極管應(yīng)用