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UL1000 Fab氦氣真空檢漏儀（干式）

ULTRATEST? 傳感器技術(shù)

 工業(yè)真空和半導(dǎo)體制造中真空泄漏檢測的"干式"標(biāo)準(zhǔn)

 INFICON UL1000 Fab 氦氣檢漏儀是工業(yè)或半導(dǎo)體環(huán)境中經(jīng)濟(jì)型氦氣真空泄漏檢測的公認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)。

 通過儀器的干式泵技術(shù)，可以消除被測部件或設(shè)備被碳?xì)浠衔锘蝾w粒污染的可能性。UL1000 FAB在高性能、超高穩(wěn)健性和經(jīng)濟(jì)性之間提供了最佳的性價(jià)比。它提供最先進(jìn)的 ^10-12 mbar·l/s 檢測極限，具備合理的短抽氣時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間的特點(diǎn)。緊湊的設(shè)計(jì)提供了高度的機(jī)動(dòng)性，方便進(jìn)入空間有限的維修區(qū)域?？蛇x的背景抑制（iZERO）功能能夠在2秒內(nèi)實(shí)現(xiàn)低于現(xiàn)有背景水平狀態(tài)持續(xù)進(jìn)行泄漏測試。

 所有特性都使您能夠縮短泄漏測試工作的時(shí)間，同時(shí)確?？梢越?jīng)濟(jì)實(shí)惠地檢測出所有泄漏。

 好處

• 通過縮短抽氣時(shí)間和響應(yīng)時(shí)間加快泄漏檢測工作

• 通過使用可選的背景抑制（Izero），避免需要進(jìn)行多次泄漏測試。

• 通過緊湊的設(shè)計(jì)方便進(jìn)入空間有限的維護(hù)區(qū)域

• 通過耐用的兩個(gè)熱絲離子源（三年保修）和逆流式真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)低擁有成本 (TCO)

• 通過可旋轉(zhuǎn)顯示、聲音和燈光泄漏提示以及可選的遠(yuǎn)程控制降低應(yīng)用難度

• 通過內(nèi)置泄漏測試和自動(dòng)校準(zhǔn)程序?qū)崿F(xiàn)低成本維護(hù)

典型應(yīng)用

• 對清潔度要求嚴(yán)苛的工業(yè)真空設(shè)備制造

• 在將真空組件或子組件安裝到現(xiàn)有工具中之前

• 真空工具的維護(hù)工作，無論是否有泵的支持

• 工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝

• 半導(dǎo)體、平板顯示器或太陽能電池制造