元件或系統(tǒng)是否漏取決于它的應(yīng)用和可接受的漏率,絕對(duì)無漏的元件和系統(tǒng)是不存在的。如元件的漏率低于元件規(guī)定的漏率值以下被認(rèn)為是無漏的,為提供定量的測(cè)量引入了術(shù)語(yǔ)“漏率”。
一、 如何來檢漏
針對(duì)烤箱要經(jīng)過兩種檢漏方法
壓強(qiáng)上升法(檢大漏)
此方法僅能確定總漏率。試件用真空泵或真空系統(tǒng)抽空, 用一個(gè) 閥門將試件與真空泵隔離, 壓強(qiáng)將隨著時(shí)間上升(見下圖)

曲線(a)表示理論上的壓強(qiáng)上升,如僅有漏. 曲線(b)表示由于試件表面出氣的壓強(qiáng)上升. 這個(gè)壓強(qiáng)上升當(dāng)達(dá)到飽和時(shí)趨于停止. 如允許監(jiān)測(cè)壓強(qiáng)上升的時(shí)間太短,這個(gè)漏實(shí)際上并不存在. 如等待壓強(qiáng)上升足夠長(zhǎng)的時(shí)間,即在曲線(b)彎曲以后,這個(gè)出氣過程可以忽略. 可從已知的試件容積和在一定時(shí)間過程中測(cè)量的壓強(qiáng)上升確定漏率(見公式
). 曲線(c)表示實(shí)際發(fā)生的,出氣與漏率組合的壓強(qiáng)上升. 可檢測(cè)的漏率與試件的容積,得到的極限壓強(qiáng)和試件的出氣有關(guān). 連接很大的試件,如在綜合粗真空范圍內(nèi)確定極低的漏率,這個(gè)方法將耗費(fèi)很長(zhǎng)的時(shí)間.
簡(jiǎn)單的說就是抽一段時(shí)間真空后,關(guān)閉閥門,看真空計(jì)是否快速上升。
局部檢漏(檢小漏)

用真空泵(輔助泵)抽空試件達(dá)到檢漏儀運(yùn)行需要的足夠低低壓強(qiáng) (見圖 4). 當(dāng)使用氦檢漏儀時(shí),它本身的泵系統(tǒng)將進(jìn)一步抽空. 然后在試件上的可疑部位噴射細(xì)注的搜索氣體. 通過漏孔進(jìn)入試件的搜索氣體由真空泵抽出,并由檢漏儀轉(zhuǎn)換為可顯示的電訊號(hào). 這樣達(dá)到快速檢測(cè)和確定最小的漏孔大小.
二、漏率怎么來確定?
客戶的烤箱體積為一立方米,配螺桿和分子泵,啟動(dòng)真空泵一個(gè)半小時(shí)后到2X10-2帕(2X10-4毫巴),關(guān)閉閥門后12小時(shí)降到200帕(2毫巴)以下為合格,對(duì)應(yīng)的漏率是4.629X10-2毫巴.升/秒。我們的檢漏儀最低可檢漏率是5X10-12毫巴.升/秒,可以設(shè)定5X10-2毫巴.升/秒報(bào)警,所以完全可以滿足要求。
三、如何解決使用檢漏儀遇到的問題
1、檢半成品需要配輔助泵,且加有真空計(jì),功能是檢大漏和檢小漏時(shí)輔助抽真空,縮短檢漏時(shí)間。
2、檢半成品需要加箱體的蓋板,讓腔體形成密封的狀態(tài)。
3、輔助泵并不需要要加分子泵,只需求加前級(jí)泵,比如螺桿泵就行,加不加分子泵對(duì)檢漏沒有影響。
四、關(guān)于檢漏儀的維修保養(yǎng)?
1、如果使用頻繁,分子泵使用到2-3年更換油池,也就是分子泵到期保養(yǎng),大概保養(yǎng)費(fèi)用9000元。
2、檢漏儀里燈絲有二根,全部燒掉后需要更換離子源,離子源的價(jià)格是10900元,五年之內(nèi)都很少出現(xiàn)。
五、 LX218是否能集成為自動(dòng)檢漏線?
這個(gè)是可以的。檢漏儀有RS232-C和RS485接口,有模擬輸出信號(hào)和數(shù)字輸出信號(hào)。
六、選擇LX218的理由:

1、 價(jià)格優(yōu)惠。
2、 原裝德國(guó)進(jìn)口,質(zhì)量高端。
3、 售后好,應(yīng)急反應(yīng)快捷。
4、 安裝培訓(xùn)完善。

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