一、什么是四極質(zhì)譜、它有什么功能及應(yīng)用？

     四極質(zhì)譜（RGA)是一種用于確定系統(tǒng)中存在的殘余氣體及數(shù)量的儀器。用于檢漏、工藝標(biāo)定和診斷。應(yīng)用于真空鍍膜、熱處理、半導(dǎo)體、太陽能等行業(yè)。

二、INFICON產(chǎn)品型號有哪些，各有什么特點(diǎn)，如何選擇？

       Transpector CPM緊湊型過程監(jiān)控器（帶分子泵組和采樣閥組、可自動控制、最大真空度1.2大氣壓）

       Transpector  SPS 殘余氣體分析儀（帶分子泵組和采樣閥組、可自動控制、最大真空度1.2大氣壓）

       CPM與SPS比較 SPS是CPM的簡化版本，功能更簡化。
       Transpector  XPR3+ 殘余氣體分析儀（質(zhì)量數(shù)在0-100Amu,最大工作氣壓1.3X10^-2mba）

       Transpector  MPH 殘余氣體分析儀（質(zhì)量數(shù)0-100Amu、0-200Amu、0-300Amu;最大工作氣壓5X10^-4mba）

       Transpector  MPS 殘余氣體分析儀（質(zhì)量數(shù)0-100Amu、0-200Amu、0-300Amu;最大工作氣壓5X10^-4mba）

       MPH與MPS比較，測量間隔小、零爆小、靈敏度高。

       QMG 700 分析質(zhì)譜儀

A、小于5X10^-4mba  可選擇MPH/MPS。

B、大氣壓          可選擇SPS/CPM。

C、小于1.3X10^-2mba 可選擇XPR3。

關(guān)于質(zhì)量數(shù)的選擇：
1、100Amu

   典型應(yīng)用于非反應(yīng)性工藝過程，如PVD鍍膜、熱處理、激光、普通氣體分析。檢測H2、He、H2O、N2、Co、O2、Ar、CO2等小分子氣體。

2、200/300 Amu

   典型應(yīng)用于反應(yīng)性工藝過程，如ETCH/CVD等，監(jiān)測殘余氣體及工藝氣體如CCL4，碳?xì)浠衔铩?span style="font-family: Calibri;">SiCL4、SF6、C3F8、WF6和Xe等高分子材料

三、關(guān)于參數(shù)指標(biāo)上的解讀？

1、檢測器類型有FC和EM各是什么？
   FC是法拉第杯 EM是增強(qiáng)模塊。

2、最小可檢分壓強(qiáng)是什么意思？

   是真空腔里存在氣體最小壓強(qiáng)，就像一桿秤，如果小于最小壓強(qiáng)，就不能秤出數(shù)據(jù)來。