真空計種類那么多，如何選擇才最好？

一、  皮拉尼真空計

1皮拉尼真空計原理

·加熱電阻絲，使之升溫至需要的工作溫度

·由于氣體粒子與電阻絲碰撞離開時帶走了能量，電阻絲的溫度會發(fā)生變化

·熱絲的能量損失與熱絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關系

2衍生出兩種類型的皮拉尼規(guī)

1）穩(wěn)定溫度，測量施加的電壓變化等效測量真空度（INFICON PSG500）

2）穩(wěn)定電壓，測量溫度變化等效測量真空度（熱偶規(guī)）

3氣體的熱傳導，與下列提條件有關

1）氣體類型

2）壓力大小

4皮拉尼真空計測量范圍與精度

測量范圍（空氣,氧氣,一氧化碳,氮氣）：5 x 10^-4至 1000mbar

精度(氮氣)：

1x 10^-3…100毫巴  ±15%

5 x 10^-4…1 x 10^-3毫巴  ±50%

100 ... 1000毫巴  ±50%

 5皮拉尼真空計的優(yōu)特點

燈絲部分在不影響精度與速度的情況下，加以最大的保護，

大大延長了燈絲的使用壽命。

6皮拉尼真空計具體型號

 ·PSG050/051

·PSG100-S  PSG101-S

·PSG500/500-S PSG502

·皮拉尼電容膜片復合真空計PCG400 PCG410 PCG550

1）有皮拉尼規(guī)與特制的陶瓷薄膜規(guī)合成在一起

2）兩種原理的規(guī)管全過程都工作

3）100mbar—1000 mbar 使用薄膜規(guī)信號

4）1mbar– 100mbar 兩規(guī)信號同時采用

5）5x10-4mbar–1 mbar 采用皮拉尼信號

6）輸出的真空度信號（電壓）連續(xù)，無跳躍

 7皮拉尼真空計應用行業(yè)

·各種高真空泵的前級壓力測量，如光伏、鍍膜、等離子行業(yè)

·各種中低真空測量，如照明，冶金

·真空連鎖控制，高真空計的點火開關控制，如PEG100

·PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216

·PCG400 PCG410(現(xiàn)在已升級為PCG550，PCG400/PCG410已經停產）與PSG500 基本相同，但彌補了皮拉尼規(guī)大氣測量段精度不足的弱點，而且不受氣體類型的影響，在真空爐，單晶爐，多晶爐，藍寶石爐上廣泛應用 

·PSG100 PSG101，與PSG500/PSG050基本相同，但以為具有通訊協(xié)議功能，在大系統(tǒng)中應用廣泛

 二、電容薄膜規(guī)

CDG025D/CDG045/100/160/200

1電容薄膜規(guī)工作原理

·壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關系

·通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度

2電容薄膜規(guī)特點

·以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成

·在嚴酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強測量

·快速的預熱和恢復時間,提高生產率

·卓越的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復性

·由于電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性

·對環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩(wěn)定

·快速預熱在開機的一分鐘內達到快速穩(wěn)定和進入準備使用狀態(tài)

·一鍵按鈕: 調零功能和設點調整

·抗腐蝕超純陶瓷傳感器

·能經受數(shù)百萬次壓強循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡象

·暴露大氣壓后快速恢復,無需隔離閥

·對蒸氣介質不敏感

·先進的傳感器屏蔽 (專利)延長真空計在污染的工藝過程中的使用壽命

3INFICON陶瓷技術

·陶瓷技術的優(yōu)越性

1）無 “記憶” 效應        2）陶瓷無疲勞問題     3）最好的溫度補償       4）卓越的零點穩(wěn)定性

·低使用成本

1）非凡的使用壽命       2）無需隔離閥

4Sky CDG025D測量范圍

5加熱型薄膜規(guī)

 6加熱型優(yōu)點

·零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）

·更高的精度

·環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對精度無影響

·比工藝更快的預熱啟動時間’

·快速恢復時間 大氣壓 < 1 min within 5mV

·任意安裝角度

·抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產生氣體的腐蝕影響

7電容薄膜規(guī)的應用

要求高的應用條件下，精確而快速的壓強測量

·用于刻蝕，CVD、PVD、ALD半導體設備制造，如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多，刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。一般國內用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設備標配產品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3，國內用的好多PECVD設備上用的是INFICON的CDG025D。

·資料貯存和顯示器制造設備

·工業(yè)真空設備

·常用高精度真空測量

 三、熱電離規(guī)

1熱電離規(guī)原理

Richardson 效應: 高溫燈絲發(fā)射電子，高能量電子撞擊氣體分子，氣體分子的一個或多個電子被撞擊出去，形成帶正電的離子。

1）帶電離子被離子收集極捕捉收集放大輸出

2）離子流的大小與氣體壓力成比例關系

2兩種類型熱電離規(guī)

 3熱電離型復合規(guī)

·HPG400

·BPG400/-SP/-SD/SR

·BPG402

·BCG450 B-A規(guī)，皮拉尼規(guī)，薄膜規(guī)三種型號復合在一起

4優(yōu)點及應用

·BPG

■測量范圍寬，一個規(guī)管覆蓋13個量程5x10-10–1000 mbar

■精度高，極好的重復性5%

■燈絲材料鍍釔的銥絲有極好的抗氧化能力，皮拉尼自鎖保護，使燈絲并不會因突然暴露大氣而燒毀。

■方便的校準調節(jié)

■注意事項：

◆對氣體有選擇性

◆抗污染能力弱

■普遍應用于從低到超高真空的測量

■在工業(yè)，半導體，研究行業(yè)應用廣泛

BPG402

■雙燈絲，大大延長使用壽命

■電離規(guī)的工作可以自定義控制

■探頭備件自帶校準參數(shù)，保證精度與重復性

 HPG400

■電離規(guī)與皮拉尼的復合

■皮拉尼自鎖保護電離規(guī)

■電離規(guī)的工作啟動點可以一定范圍內自定義

■簡易的校準功能

■相對便宜的價格

 BCG450

■可調的電離規(guī)工作起點

■極佳的重復性

■精確的大氣端測量

 四、冷電離規(guī)（潘寧規(guī)）

1冷電離規(guī)原理

通過氣體放電方式產生電子，通過磁場使電子獲得能量將氣體分子電離。

 2潘寧規(guī)特點與應用

·測量范圍：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar

·全金屬密封

·無燈絲

·易清洗

·應用于普通的高真空測量

 3冷規(guī)復合規(guī)MPG400特點與應用

·冷規(guī)與皮拉尼規(guī)的復合

·測量范圍廣： 5x10-9-1000 mbar

·易于保養(yǎng)清洗

·無高真空燈絲，

·應用于普通高真空測量

 4冷規(guī)及復合規(guī)性能比較