INFICON電容薄膜規(guī)的特點概要

一、 電容薄膜規(guī)的常用型號

1、 CDG025D、CDG045/100/160/200

二、 電容薄膜規(guī)的特點

· 以可靠的超純陶瓷傳感器室為基礎構成

· 在嚴酷和腐蝕性環(huán)境中,穩(wěn)定與可靠的高精度壓強測量

· 快速的預熱和恢復時間,提高生產(chǎn)率

· 卓越的長期穩(wěn)定性,再現(xiàn)性和重復性

· 由于電子學直接安裝在傳感器上,改進了溫度補償和EMC兼容性

· 對環(huán)境條件變化的敏感度的降低使得測量更穩(wěn)定

· 快速預熱,在開機的一分鐘內(nèi)達到快速穩(wěn)定和進入準備使用狀態(tài)

· 一鍵按鈕: 調零功能和設置點調整

· 抗腐蝕超純陶瓷傳感器

· 能經(jīng)受數(shù)百萬次壓強循環(huán)周期,包括大氣壓沖擊,無任何降低性能的跡象

· 暴露大氣壓后快速恢復,無需隔離閥

· 對蒸氣介質不敏感

· 先進的傳感器屏蔽 (專利)延長真空計在污染的工藝過程中的使用壽命

三、 加熱型薄膜規(guī)的常用型號和優(yōu)點

CDG045、CDG100、CDG160、CDG200

· 零飄極小0.1%FS/年（干凈真空環(huán)境）

· 更高的精度

· 環(huán)境溫度變換/環(huán)境壓力變化/環(huán)境氣流變化對精度無影響

· 比工藝更快的預熱啟動時間’

· 快速恢復時間 大氣壓 < 1 min within 5mV

· 任意安裝角度

· 抗污染，可有效抵抗工藝氣體或工藝產(chǎn)生氣體的腐蝕影響

四、 電容薄膜規(guī)的應用行業(yè)

在要求比較高的應用條件下，精確而快速的壓強測量

· 用于刻蝕，CVD、PVD、ALD半導體設備制造，如太陽能光伏行業(yè)的PECVD用的很多

· 刻蝕上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比較多，抗污染性能比較好。

· 一般國內(nèi)用的PECVD還有多晶爐上用的MKS的電容薄膜規(guī)622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比較多，如德國Ruth&Rau公司的PECVD設備標配產(chǎn)品為MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,質量流量計用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3

· 國內(nèi)大部分PECVD設備上用的都是INFICON的CDG025D

· 資料貯存和顯示器制造設備

· 工業(yè)真空設備

· 常用高精度真空測量

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