所有設(shè)備真空腔體的真空度檢測主要是用真空規(guī)，一般前級真空一個，本底和工藝監(jiān)控各一個，如果進(jìn)口的真空計(jì)，皮拉尼、熱電離規(guī)、電容薄膜規(guī)等，中國的真空設(shè)備廠家中，使用最廣泛的進(jìn)口真空測量產(chǎn)品是深圳市科銳詩汀代理的瑞士英?？担↖NFICON）的真空計(jì)及控制器。

但是困擾使用者的一個問題是英福康（INFICON）的真空計(jì)及控制器種類繁多，型號規(guī)格貌似沒有規(guī)律，很難記憶，今天我們就嘗試著解開這個困擾。

真空計(jì)從原理上劃分很多種類，還有一些復(fù)合真空計(jì)，從大類上就可以分十幾種，加上測量寬度和精度的不同排列組合，可以細(xì)分成幾十種，根據(jù)實(shí)際應(yīng)用可能會構(gòu)成多種選型，的確會讓不熟悉的人頭疼不已，不過，英?？担↖NFICON）的真空計(jì)的命名還是有規(guī)律可循的：

一，   命名由三段組成：3個英文字母+3個阿拉伯?dāng)?shù)字+英文和數(shù)字的后綴

前面兩段是必須的，后綴可有可無，例如PSG550，CDG025D-X3等。第一段最重要，體現(xiàn)了該真空計(jì)的原理，中間一段體現(xiàn)性能的細(xì)分，比如溫度/速度/體積等的特性，后綴則反應(yīng)細(xì)節(jié)，例如燈絲或總線的類型。

重點(diǎn)談?wù)劦谝欢?個英文字母的命名規(guī)則：

二，   以真空計(jì)的原理或原理命名者的英文單詞首字母組合來命名

電容膜片真空計(jì)（Capacitance Diaphragm Gauge）就是CDG

B-A型真空計(jì)（Bayard Alpert Gauge）就是BAG

皮拉尼標(biāo)準(zhǔn)真空計(jì)（Pirani Standard Gauge）就是PSG

真空計(jì)控制器（Vacuum Gauge Controller）就是VGC

三，    兩種原理復(fù)合真空計(jì)以真空計(jì)的兩種原理或原理命名者的英文單詞首字母+真空規(guī)的英文首字母G組合來命名

B-A 型皮拉尼真空計(jì)（Bayard-Alpert Pirani Gauge）就是BPG

皮拉尼電容膜片真空計(jì)（Pirani Capacitance diaphragm Gauge）就是PCG

反磁控皮拉尼真空計(jì)（inverted Magnetron Pirani Gauge）就是MPG

四，   三種或以上原理復(fù)合真空計(jì)多以更重要的兩種原理或原理命名者的英文單詞首字母+真空規(guī)的英文首字母G組合來命名

B-A 型皮拉尼電容膜片真空計(jì)（Bayard-Alpert Pirani Capacitance diaphragm Gauge）就是BCG

五，   有特殊功能的真空計(jì)以該功能的英文單詞首字母+真空計(jì)的原理或原理命名者的英文單詞首字母+真空規(guī)的英文首字母G組合來命名

高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)（High Pressure Hot Ionization Pirani Gauge）就是HPG

六，   增強(qiáng)型（Enhance）功能的真空計(jì)則往往把該英文單詞首字母放在最后

對流增強(qiáng)型皮拉尼真空計(jì)（Pirani Gauge Enhanced）就是PGE

七，   個別以真空計(jì)的原理或原理命名者的英文單詞只有一個，就用首兩個字母+真空規(guī)的英文首字母G組合來命名

潘寧真空計(jì)（Penning Gauge）就是PEG

八，   第二段的三個數(shù)字和第三段的具體對應(yīng)什么細(xì)節(jié)/條件/功能就要查產(chǎn)品手冊了。