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英?？岛鈾z漏黃金組合：為太陽能智造筑牢真空防線
在光伏產(chǎn)業(yè)向高效化、智能化轉(zhuǎn)型的關(guān)鍵期，INFICON 作為全球真空測量與薄膜控制領(lǐng)域的技術(shù)者，正以多元化產(chǎn)品矩陣重塑太陽能制造的底層邏輯。從鈣鈦礦電池量產(chǎn)突破到真空環(huán)境精密控制，從薄膜沉積技術(shù)到全流程協(xié)同優(yōu)化，我們將通過系列文章，逐層拆解 INFICON 不同產(chǎn)品與技術(shù)在太陽能制造中的深度應(yīng)用。
系列第三篇 本文是繼 INFICON 薄膜沉積控制技術(shù)，真空測量方案后的第三篇文章，揭秘氦氣泄漏檢測實(shí)踐在太陽能領(lǐng)域的深度應(yīng)用。 太陽能電池技術(shù)飛速發(fā)展，晶體硅電池效率持續(xù)突破，鈣鈦礦電池加速崛起。CVD/ALD/PVD等關(guān)鍵設(shè)備極大優(yōu)化了電池性能，但設(shè)備泄漏問題成為重大挑戰(zhàn)。以PECVD設(shè)備為例，泄漏會(huì)導(dǎo)致反應(yīng)腔內(nèi)氣體成分和壓力失控。在HJT（異質(zhì)結(jié)）電池制造中，這將造成非晶硅鈍化層生長不均，使電池的開路電壓和填充因子下降，光電轉(zhuǎn)換多可降低不少。 面對(duì)如此嚴(yán)峻的泄漏挑戰(zhàn)，INFICON推出由UL系列檢漏儀(UL1000/3000/6000)、SMART-Spray智能噴槍和I-BOOST加速系統(tǒng)組成的氦氣檢漏方案，為設(shè)備真空系統(tǒng)提供保障。 INFICON的UL系列（UL1000/3000/6000）檢漏儀堪稱檢漏界的 “精密大師"，檢測精度可達(dá) 10?12mbar?l/s，能夠精準(zhǔn)捕捉到極其細(xì)微的泄漏。無論是高真空環(huán)境，還是中低真空區(qū)域，它都能從容應(yīng)對(duì)，為不同工藝環(huán)節(jié)的設(shè)備提供可靠的檢測數(shù)據(jù)。
